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崗位職責(zé)：
1、負(fù)責(zé)光刻產(chǎn)品的工藝調(diào)試及分辨率、套刻精度等指標(biāo)測(cè)試，同時(shí)完成在用戶(hù)端使用過(guò)程中出現(xiàn)的問(wèn)題的記錄、反饋工作；
2、負(fù)責(zé)執(zhí)行具體圖形的光刻打樣實(shí)驗(yàn)工作，做FEM實(shí)驗(yàn)并測(cè)量顯影后圖形參數(shù)以找出最佳曝光能量和聚焦值；使用FEM數(shù)據(jù)做工藝窗口分析，輸出光刻打樣實(shí)驗(yàn)報(bào)告；
3、通過(guò)自動(dòng)化平臺(tái)測(cè)試獲得所監(jiān)控的顯影后圖形的工藝參數(shù)，并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析以評(píng)估設(shè)備的工藝穩(wěn)定性；
4、負(fù)責(zé)光刻實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的持續(xù)建設(shè)、維護(hù)與管理，光刻膠材料選型與評(píng)估等相關(guān)工作；
5、與相關(guān)人員緊密協(xié)作，配合完成光刻實(shí)驗(yàn)工作。
崗位要求：
1、熟悉光刻工藝流程及光刻設(shè)備結(jié)構(gòu)、工作原理和操作方法等；
2、熟悉光學(xué)膜厚儀、3D光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡等常用光刻工藝參數(shù)測(cè)量、形貌觀察設(shè)備及測(cè)量表征方法；
3、具備實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)和數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)處理能力。

職位類(lèi)別：

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